渦旋泵的核心結(jié)構(gòu)由兩個呈渦旋狀的部件組成，一個是固定的渦旋盤，另一個是與之相互嵌套且偏心運動的動渦旋盤。當(dāng)泵開始工作時，動渦旋盤在特定的驅(qū)動機構(gòu)作用下，圍繞著固定渦旋盤的中心進行偏心轉(zhuǎn)動。這種轉(zhuǎn)動使得兩個渦旋盤之間的月牙形空腔體積不斷發(fā)生周期性的變化。在空腔體積逐漸增大的過程中，氣體從泵的進氣口被吸入到這些空腔內(nèi)；而隨著動渦旋盤的持續(xù)轉(zhuǎn)動，空腔體積逐漸縮小，氣體便被壓縮，壓力升高，最終從排氣口排出。這種工作方式與傳統(tǒng)泵類相比，具有顯著的優(yōu)勢。

　　其優(yōu)勢首先體現(xiàn)在無油運行方面。由于渦旋泵的工作過程中不需要潤滑油來密封或潤滑運動部件，避免了油蒸氣對真空環(huán)境的污染。這使得它在對真空純凈度要求高的領(lǐng)域，如半導(dǎo)體制造、電子顯微鏡觀察以及某些高精密分析儀器中得到了廣泛應(yīng)用。在半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)過程中，哪怕是極其微小的油分子雜質(zhì)都可能導(dǎo)致芯片短路或性能下降，渦旋泵能夠提供清潔的真空環(huán)境，保障芯片制造工藝的順利進行。

　　渦旋泵還具有運行平穩(wěn)、噪音低的特點。其渦旋結(jié)構(gòu)使得泵在工作時產(chǎn)生的振動和噪音極小。這不僅有利于營造安靜的工作環(huán)境，對于一些對設(shè)備穩(wěn)定性要求較高的實驗或生產(chǎn)過程，如光學(xué)儀器的校準(zhǔn)、質(zhì)譜分析等，渦旋泵的平穩(wěn)運行能夠有效避免因設(shè)備振動而產(chǎn)生的測量誤差或?qū)嶒炇　?/div>